上海漢鐘于1996年成立，2007年深圳A股上市。濟南、廣州、南京、重慶分公司相繼設立，子公司浙江漢聲、上海柯茂、香港漢鐘、越南漢鐘、韓國漢鐘、浙江柯茂陸續創立。這一切體現了漢鐘人25年來用汗水辛勤耕耘的成果。
跨越25年的歷史，開啟全球性企業新未來
用途： Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD
特點：
iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能，適用于嚴苛制程
它優良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計
漢鐘獨特型線設計，上海、臺灣製造
較之前的版本節能25%，配置有省電模式
帶有加熱系統避免制程物沉積
優化的尺寸，隨插即用
產品樣本和技術手冊
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